• 什么是EDS 我们通常所说的EDS全称为能量色散X射线谱仪 简称能谱仪 可同时记录所有X射线谱 用以测量X射线强度与X射线能量的函数关系 是一种不损坏试样的快速微区成分分析方法 通过测量材料被激发的特征X射线能量进行元素的定性分析 测量特征